T/CEMIA 006-2018
膜厚监控用石英晶振片

Quartz crystal resonator for film thickness control


 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/CEMIA 006-2018 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

 

标准号
T/CEMIA 006-2018
发布
2018年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CEMIA 006-2018
 
 
适用范围
本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。

T/CEMIA 006-2018相似标准

SJ 3205-1989 电子材料蒸发率的测定方法 GB/T 50780-2013 电子工程建设术语标准 SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语 T/GVS 004-2022 光学真空镀膜职业技能等级规范 T/ICMTIA BS0030-2022 集成电路材料产品分类

推荐

测量电子显微镜碳厚度

在每个特定的短脉冲之后，每一个脉冲后的膜厚都会得到测量。信息会反馈到过程控制中，然后再执行一个脉冲，或成功完成镀膜。这种方法首次满足了高度精确的要求，创造出了1或2纳米厚的薄层，无需经验即可完美重现。图1：闪光蒸发时，晶振片随时间变化。图2：执行特定的脉冲蒸发时，石英信号随时间变化。无晶振片膜厚测量如果想评估碳膜厚度，但没有晶振片测量系统，则可以采用一种简单的视觉测试方法。...

应用推荐|SM200及其系列膜厚仪在薄膜检测的应用

，支持检测小尺寸样品软件界面直观，操作方便省时应用实例(1)膜厚仪在某晶振行业的应用晶振行业一般使用石英震荡法进行测试膜厚，对于比较薄的膜（几微米及以下级别），通常准确度达不到需求。...

Advanced Materials: 通过稳定的纳米晶金属合金实现超低磨损

此外，在镀膜过程中为精确控制Pt-Au成膜厚度到Å级别，使用了石英晶振模拟片，每次镀膜前其厚度监控也都采用布鲁克公司的Dektak膜厚仪和TEM断面两种方式进行校准。 论文作者总结，大气环境中合金材料获得10-9mm3N-1m-1量级的磨损率，得益于Pt-Au超级稳定的纳米晶结构。...

T/CEMIA 006-2018 中可能用到的仪器设备

其他包装业专用


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号