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电子探针显微分析（EPMA = Electron Probe Microanalysis），全称：电子探针x射线显微分析，是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。适用于分析试样中微小区域的化学成分，是研究材料组织结构和元素分布状态的有效方法。电子探针显微分析是利用聚焦电子束（电子探测针）照射试样表面待测的微小区域，从而激发试样中元素产生不同波长（或能量）的特征X射线。...
一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。那么，小析姐就跟大家一起聊一聊电子探针显微分析的原理和特点。电子探针的功能主要是进行微区成分分析。它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。原理用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。...
一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。今天就跟大家一起聊一聊电子探针显微分析的原理和特点。电子探针的功能主要是进行微区成分分析。它是在电子光学和x射线光谱学原理的基础上发展起来的一种高效率分析仪器。原理用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征x射线。...
2.X射线谱仪 电子束轰击样品表面将产生特征X射线，不同的元素有不同的X射线特征波长和能量。通过鉴别其特征波长或特征能量就可以确定所分析的元素。利用特征波长来确定元素的仪器叫做波长色散谱仪（波谱仪WDS），利用特征能量的就称为能量色散谱仪（能谱仪EDS）。电子探针的分析方法1.点分析：用于测定样品上某个指定点的化学成分。 2.线分析：用于测定某种元素沿给定直线分布的情况。 ...
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