用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征x射线。 分析特征x射线的波长(或特征能量)即可知道样品中所含元素的种类(定性分析)。 分析x射线的强度,则可知道样品中对应元素含量的多少(定量分析)。 电子探针仪镜筒部分的构造大体上和扫描电子显微镜相同,只是在检测器部分使用的是x射线谱仪,专门用来检测x射线的特征波长或特征能量,以此来对微区的化学成分进行分析。 ...
利用特征X射线波长来确定元素的叫做波谱仪(WDS),利用特征X射线能量不同来展谱的就称为能谱仪(EDS)。电子探针 利用电子显微探针原理和技术来分析样品的仪器。 仪器构造:主要由电子光学系统(镜筒),X射线谱仪和信息记录显示系统组成。 1.电子光学系统 为了提高X射线的信号强度,电子探针必须采用较扫描电镜更高的入射电子束流,常用的加速电压为10-30 KV,束斑直径约为0.5μm。...
xrf和epma两种成分分析方法有何区别基本原理电子显微探针是指用聚焦很细的电子束照射要检测的样品表面,用X射线分光谱仪测量其产生的特征X射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小,因而相应的X射线特征谱线将反映出该微小区域内的元素种类及其含量。 利用特征X射线波长来确定元素的叫做波谱仪(WDS),利用特征X射线能量不同来展谱的就称为能谱仪(EDS)。...
扫描电子显微镜(SEM),主要用于固体物质表面电子显微高分辨成像,接配电子显微分析附件,可做相应的特征信号分析。 最常用的分析信号是聚焦电子束和样品相互作用区发射出的元素特征X-射线,可用EDS(X-射线能谱仪)或者WDS(X-射线波谱仪)进行探测分析,获得微区(作用区)元素成分信息,而WDS这个电子显微分析附件却来源于EPMA。...
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