ISO 15632:2012
微光束分析.带半导体探测器能量发散X射线分光仪的仪器规范
Microbeam analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
- 标准号
- ISO 15632:2012
- 发布
- 2012年
- 中文版
- GB/T 20726-2015 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 15632:2021
- 当前最新
- ISO 15632:2021
- 引用标准
- ISO 23833
- 适用范围
- 该国际标准定义了表征能量色散X射线光谱仪的最重要的量，该能量色散X射线光谱仪由半导体探测器、前置放大器和信号处理单元作为基本部件组成。 本国际标准仅适用于带有以固态电离原理工作的半导体探测器的光谱仪。 本国际标准规定了连接扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微量分析仪（EPMA）的光谱仪的最低要求以及如何检查相关仪器性能参数。 ISO 22309[2] 和 ASTM E1508[3] 中概述了实际分析所用的程序，不属于本国际标准的范围。
ISO 15632:2012相似标准
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