DB32/T 4378-2022
衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法
Four-probe method for non-destructive testing of sheet resistance of nanometer and submicron scale thin films on substrate surface
- 标准号
- DB32/T 4378-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 江苏省标准
- 当前最新
- DB32/T 4378-2022