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光学探针是非接触测量,，但需要一套高精度的调焦系统。 ③干涉显微测量方法： 干涉显微测量方法利用光波干涉原理测量表面轮廓。与探针式测量方法不同的是,它不是单个聚焦光斑式的扫描测量，而是多采样点同时测量。...
光学探针是非接触测量,，但需要一套高精度的调焦系统。 ③干涉显微测量方法： 干涉显微测量方法利用光波干涉原理测量表面轮廓。与探针式测量方法不同的是,它不是单个聚焦光斑式的扫描测量，而是多采样点同时测量。...
第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜。它的诞生,可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化,并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接。使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象,并对它们进行更精确的分析。...
有许多不同的技术都能提供样品的形貌信息：非触式微区形貌测试系统（OSP）间歇接触扫描电化学显微镜（ic-SECM）电容式高度测试技术（CHM，SKP）电容式跟踪测试技术（CTM，SKP）本文主要介绍了M470（或M370）SKP技术中的CHM和CTM技术。CHM和CTM形貌测量的原理这两种技术的原理都是测量探针与样品之间产生的电容。...
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