BS ISO 11952:2019
表面化学分析 扫描探针显微镜 使用 SPM 确定几何量:测量系统的校准

Surface chemical analysis. Scanning-probe microscopy. Determination of geometric quantities using SPM: Calibration of measuring systems


标准号
BS ISO 11952:2019
发布
2019年
发布单位
英国标准学会
当前最新
BS ISO 11952:2019
 
 
适用范围
ISO 11952 - 扫描探针显微镜是什么? ISO 11952 适用于扫描探针显微镜。 ISO 11952 规定了扫描探针显微镜 (SPM) 扫描轴的表征和校准方法,以测量最高水平的几何量。它适用于那些提供进一步校准的人。注 - 它不适用于可能需要较低级别校准的一般工业用途。谁是

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