T/IAWBS 018-2022
金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafers


 

 

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标准号
T/IAWBS 018-2022
发布
2022年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/IAWBS 018-2022
 
 
适用范围
本标准根据金刚石单晶的材料性能特点,并结合目前国内外其他单晶如蓝宝石位错密度的检测技术的研究水平,对金刚石单晶抛光片位错密度的测试原理、测量精度保障、测量步骤等内容做出了规定。

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