就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。...
能量色散X射线谱仪(EDS) EDS是能量色散X射线谱仪,简称能谱仪,常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析,称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si(Li)半导体检测器,即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素(O、N、C等)。...
在分析电子显微镜的分析中,电子束在试样中的扩展对空间分辨率是有影响的,加速电压,入射电子束直径,试样厚度,试样的密度等都是决定空间分辨率的因素。图41-2 入射电子束在试样内的扩散 (3)峰/背比(P/B) 特征X射线的强度与背底强度之比称为峰背比P/B,在进行高精度分析时,希望峰背比P/B高。...
EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。XRD是利用衍射原理,精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析,定性分析,定量分析。...
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