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3能量色散X射线谱仪(EDS) EDS是能量色散X射线谱仪，简称能谱仪，常用作扫描电镜或透射电镜的微区成分分析。利用发射出来的特征X射线能量不同而进行的元素分析，称为能量色散法。X射线能谱仪的主要构成单元是Si（Li）半导体检测器，即锂飘移硅半导体检测器和多道脉冲分析器。目前还不能用于分析超轻元素（O、N、C等）。...
就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。...
达妮埃拉·平娜（Daniela Pinna）PART.1分 类扫描电子显微镜 （ SEM ) 结合能量色散X射线光谱法 (energy dispersive X-ray spectroscopy， EDS/EDX) 为侵入式检测技术，需做微取样才能进行观察与分析。但尺寸较小的待检物也可置于样品室内进行分析，这种情况下则可视为非侵入式检测。微样品或待检物必须可耐受中度真空条件。...
大家对能够进行样品的微区结构与形貌分析的扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）都不陌生，而与之相关的利用特征X射线具有特征能量这一原理设计的用于成分分析的能量色散X射线谱仪（EDS），因为不常用，所以可能就没那么熟悉了。而今天，小编就给大家讲讲，EDS的那些事儿！...
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