ASTM F398-92(1997)
通过测量等离子体共振最小波数或波长测定半导体中多数载流子浓度的标准试验方法
Standard Test Method for Majority Carrier Concentration in Semiconductors by Measurement of Wavenumber or Wavelength of the Plasma Resonance Minimum
- 标准号
- ASTM F398-92(1997)
- 发布
- 1997年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM F398-92(2002)
- 当前最新
- ASTM F398-92(2002)
- 引用标准
- ASTM E275 ASTM F42 ASTM F43 ASTM F76 ASTM F84
- 适用范围
- 1.1 本测试方法涵盖了掺杂半导体样品红外反射率中等离子共振最小值波数的测定，从中可以获得多数载流子浓度。
1.2 本测定波数最小值的测试方法是非破坏性和非接触式的。适用于nand p型硅、nand p型砷化镓、n型锗。
1.3 本测试方法给出了相对测量，等离子体共振最小值的波数与多数载流子浓度之间的关系是经验性的。附件 A1 中总结的几个案例已经建立了这种关系。这些关系基于通过本方法的程序确定的等离子体共振最小值以及根据测试方法 F 76（第 2 部分）确定的霍尔系数或根据测试方法 F 43 或测试方法 F 84（第 2 部分）确定的电阻率作为适当的。
1.4 这些关系是在 n 型硅的 1.5 3 10 18 至 1.5 3 1021 cm -3 的多数载流子浓度范围内建立的，p 型硅的多数载流子浓度范围是 3 3 10 18 至 5 3 1020 cm -3 ，p 型硅的多数载流子浓度范围是 3 3 1018 至对于 n 型锗，从 7 3 10 19，对于 n 型砷化镓，从 1.5 3 10 17 到 1 3 1019，从
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