UNE-EN ISO 14644-9:2014
洁净室和相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度分类表面清洁度（ISO 14644-9:2012）
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012)
- 标准号
- UNE-EN ISO 14644-9:2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- AENOR
- 替代标准
- UNE-EN ISO 14644-9:2022
- 当前最新
- UNE-EN ISO 14644-9:2022