DS/EN ISO 14644-9:2012
洁净室和相关受控环境 第9部分：按颗粒浓度对表面清洁度分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

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标准号

DS/EN ISO 14644-9:2012

发布

2012年

发布单位

丹麦标准化协会

当前最新

DS/EN ISO 14644-9:2012

 

 

适用范围

ISO 14644-9:2012 根据洁净室和相关受控环境应用中的颗粒浓度建立了固体表面清洁度等级的分类。关于测试和测量方法的建议以及相关信息

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