T/ICMTIA SM0028-2022
集成电路用电子级多晶硅

Electronic grade polysilicon for integrated circuits

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标准号

T/ICMTIA SM0028-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/ICMTIA SM0028-2022

 

 

适用范围

本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。

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