T/ZZB 0648-2018
200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
- 标准号
- T/ZZB 0648-2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/ZZB 0648-2018
- 适用范围
- 本标准规定了200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。 本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
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