T/NXCL 017-2022
300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
300 mm heavily phosphorus-doped single crystaline Czochralski silicon polished wafers
- 标准号
- T/NXCL 017-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/NXCL 017-2022
- 适用范围
- 本文件规定了300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、运输、贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺等方面的内容。其中技术要求包括原材料、物理性能、化学成分、几何参数、氧化诱生缺陷、表面质量、边缘轮廓等。试验方法包括导电类型、电阻率、电阻率变化、间隙氧含量、径向氧含量、碳含量、表面金属含量、体内金属（铁）含量、直径、晶向及晶向偏离度、厚度和总厚度变化、弯曲度、翘曲度、平整度和局部平整度、氧化诱生缺陷、表面质量、局部光散射体（微小颗粒沾污）和边缘轮廓测量的测量或检验方法。检验规则分为出厂检验和型式检验。
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