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用能量分析器(常用静电型)检测这些电子的能量分布,得到以其动能为横坐标,电子计数率(或一阶导数)为纵坐标的俄歇电子能谱图。它可以检测除氢和氦以外的所有元素,更适于轻元素的定性定量分析;根据谱峰位置与峰形可推测表面原子的种类和化学状态;探测深度小于2nm。若入射电子束沿试样表面扫描可进行二维表面元素分析;结合离子溅射剥蚀,可研究试样沿深度方向的成分变化,获得三维的元素分布信息。 ...
1925年法国的P.V.俄歇首先发现并解释了这种二次电子,后来被人们称为俄歇电子,但直到1967年俄歇电子能谱技术才用于研究金属问题。通过能量分析器和检测系统来检测俄歇电子能量和强度,可获得有关表面层化学成分的定性和定量信息,以及化学状态、电子态等情况。在适当的实验条件下,该方法对试样无破坏作用,可分析试样表面内几个原子层深度、数微米区域内除氢和氦以外的所有元素,对轻元素和超轻元素很灵敏。...
1925年法国的P.V.俄歇首先发现并解释了这种二次电子,后来被人们称为俄歇电子,但直到1967年俄歇电子能谱技术才用于研究金属问题。通过能量分析器和检测系统来检测俄歇电子能量和强度,可获得有关表面层化学成分的定性和定量信息,以及化学状态、电子态等情况。在适当的实验条件下,该方法对试样无破坏作用,可分析试样表面内几个原子层深度、数微米区域内除氢和氦以外的所有元素,对轻元素和超轻元素很灵敏。...
1925年法国的P.V.俄歇首先发现并解释了这种二次电子,后来被人们称为俄歇电子,但直到1967年俄歇电子能谱技术才用于研究金属问题。通过能量分析器和检测系统来检测俄歇电子能量和强度,可获得有关表面层化学成分的定性和定量信息,以及化学状态、电子态等情况。在适当的实验条件下,该方法对试样无破坏作用,可分析试样表面内几个原子层深度、数微米区域内除氢和氦以外的所有元素,对轻元素和超轻元素很灵敏。...
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