ASTM F980-92
硅半导体器件中子诱发位移损伤的快速退火测量指南

Guide for The Measurement of Rapid Annealing of Neutron-Induced Displacement Damage in Silicon Semiconductor Devices

 

 

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标准号
ASTM F980-92
发布日期
1992年01月01日
实施日期
废止日期
无
国际标准分类号
31.080.01
发布单位
美国材料与试验协会

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