GB/T 30656-2014
碳化硅单晶抛光片

Polished monocrystalline silicon carbide wafers

GBT30656-2014, GB30656-2014

2023-10

标准号
GB/T 30656-2014
别名
GBT30656-2014, GB30656-2014
发布
2014年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 30656-2023
当前最新
GB/T 30656-2023
 
 
引用标准
DIN 50448 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 1555 GB/T 29505 GB/T 29507 GB/T 31351 GB/T 6616 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6624
适用范围
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。

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