演讲提纲:碳化硅晶体是制备高温、高频和大功率电力电子器件的理想半导体材料,其制成的碳化硅器件能为电力电子产品提供核心保障,在新能源汽车、高铁、特高压输变电、5G网络基础设施等国家战略产业有广阔的应用前景。目前,通过PVT法进行大尺寸碳化硅晶体生长存在许多质量缺陷问题,例如微管、位错、热应力、多晶型等问题,这些缺陷的存在严重影响碳化硅晶体在半导体器件方面的应用。...
“目前,晶体、衬底基本可以满足国产需求,无论从质量还是产量上都实现了自主可控。”陈小龙欣慰地说,“经过多年的努力,外国已经‘卡’不住我们的脖子了。” “尺寸越来越大,缺陷越来越少,质量越来越好”是陈小龙的梦想。 2017年,陈小龙带领团队在松山湖材料实验室开展碳化硅同质外延技术的研究,为碳化硅器件的制备提供外延片。...
演讲提纲:碳化硅晶体是制备高温、高频和大功率电力电子器件的理想半导体材料,其制成的碳化硅器件能为电力电子产品提供核心保障,在新能源汽车、高铁、特高压输变电、5G网络基础设施等国家战略产业有广阔的应用前景。目前,通过PVT法进行大尺寸碳化硅晶体生长存在许多质量缺陷问题,例如微管、位错、热应力、多晶型等问题,这些缺陷的存在严重影响碳化硅晶体在半导体器件方面的应用。...
“另辟蹊径”获取新突破 作为第三代半导体材料,碳化硅晶体是新能源汽车、光伏和5G通讯等急需的战略性半导体材料,是材料领域发展最快、国际竞争最激烈的方向之一。 目前已发现碳化硅类型多达200多种,商业化应用最为广泛的碳化硅晶型之一是六方碳化硅。...
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