ASTM F1397-93(2020)
通过气体分配系统部件测定水分贡献的标准测试方法
Standard Test Method for Determination of Moisture Contribution by Gas Distribution System Components
哪些标准引用了ASTM F1397-93(2020)
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- 标准号
- ASTM F1397-93(2020)
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1397-93(2020)
- 1.1 本测试方法涵盖测试组件在环境温度下对气体分配系统的总湿度贡献。此外，该测试方法允许在高达 70°C 的环境温度下测试组件的吸湿能力和恢复能力。 1.2 本测试方法适用于含有电子级材料的在线组件，例如半导体气体分配系统中使用的组件。 1.3 局限性： 1.3.1 该测试方法受到当前仪器灵敏度以及仪器响应时间的限制。该测试方法不适用于测试外径标称尺寸大于...
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