IEC 62047-8:2011
半导体装置.微电机装置.第8部分:薄膜的拉力特性测量的带状抗弯试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
- 标准号
- IEC 62047-8:2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 62047-8:2011
- 代替标准
- SANS 20013:2004
- 被代替标准
- IEC 47F/71/FDIS:2010
- 适用范围
- This international standard specifies the strip bending test method to measure tensile properties of thin films with high accuracy@ repeatability@ moderate effort of alignment and handling compared to the conventional tensile test. This testing method is valid for test pieces with a thickness between 50 nm and several mm@ and with an aspect ratio (ratio of length to thickness) of more than 300. The hanging strip (or bridge) between two fixed supports are widely adopted in MEMS or micro-machines. It is much easier to fabricate these strips than the conventional tensile test pieces. The test procedures are so simple to be readily automated. This international standard can be utilized as a quality control test for MEMS production since its testing throughput is very high compared to the conventional tensile test.
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