其实在核磁技术还没被应用于抛光液领域之前,大家都是用气体吸附这种方法来表征颗粒的比表面积,几乎是行业的金标准,但是在实际的研发与生产过程中发现就算确保了研磨颗粒的比表面积稳定还是会发生抛光液性能不稳定的情况,这种情况很可能是研磨颗粒在溶剂中发生了团聚,从而发生了尺寸上的变化而导致最终研磨性能的问题。低场核磁弛豫技术正是因为解决了溶液体系里颗粒的分散性而被广泛应用于CMP抛光液的研发与生产控制中。...
气体吸附法也是测量所有表面的最佳方法,包括不规则的表面和开孔内部的面积。许多国际标准组织都已将气体吸附法列为比表面积测试标准,如美国ASTM的D3037,国际ISO标准组织的ISO-9277。我国比表面积测试有许多行业标准,其中最具代表性的是国标《气体吸附BET法测定固态物质比表面积》(GB/T 19587-2017)。 ...
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