T/BSPT 001-2018
微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

Micro/nanofabrication Large-area Surface Three-dimensional Micro/nanostructure Fabrication Method Based on Laser-induced Strain


T/BSPT 001-2018 中,可能用到以下仪器设备

 

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NL310系列高能量电光调Q激光器

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连续波激光器

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岛津高分辨率扫描探针显微镜 SPM-8000FM型

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SPM-9700扫描探针显微镜

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可控气氛扫描探针显微镜WET-SPM系列

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SPM-8100FM高分辨率原子力显微镜

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德国徕卡 激光显微切割 LMD7

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T/BSPT 001-2018

标准号
T/BSPT 001-2018
发布
2018年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/BSPT 001-2018
 
 
表面微纳结构展现出许多独特的光电磁等特性,已在许多领域得到了广泛的应用。随着表面科学与工程技术的快速发展,人们对表面结构的复杂性、多级次性、大面积等提出了愈来愈高的要求,这对现有的常规微纳加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了新的挑战。近年来,各种新的非常规加工方法不断被探索和发展以期满足这些新的挑战。基于激光诱导应变的加工方法具有可...

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