T/CNIA 0016-2019
多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法

Determination of Hydrogen Chloride, Nitrogen, Oxygen and Total Carbon Content in Recycled Hydrogen for Polysilicon by Gas Chromatography


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标准号
T/CNIA 0016-2019
发布
2019年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CNIA 0016-2019
 
 
本标准规定了多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于多晶硅用回收氢气的氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定，测定范围为（0-10000）×10-6。

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