DIN 32567-3 E:2012-07
微型系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定 第3部分：触觉测量设备校正值的推导
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
- 标准号
- DIN 32567-3 E:2012-07
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN 32567-3:2014
- 当前最新
- DIN 32567-3:2014-10
DIN 32567-3 E:2012-07相似标准
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