DIN 32567-3-2014
微型系统生产设备. 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定. 第3部分: 触觉测量设备校正值的推导

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices

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标准号

DIN 32567-3-2014

发布日期

2014年10月

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

N04

国际标准分类号

39.020

发布单位

DE-DIN

引用标准

DIN 32564-1-2004 DIN 32567-1 DIN 32567-2-2014 DIN EN ISO 3274-1998 DIN EN ISO 5436-1-2000 DIN EN ISO 12179-2000 DIN EN ISO 25178-601-2011 VDI/VDE 2617 Blatt 12.1-2011 VDI/VDE 2629 Blatt 1-2008 VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008

被代替标准

DIN 32567-3-2012

DIN 32567-3-2014系列标准

DIN 32567-3-2014 中可能用到的仪器设备

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