DIN 32567-5 E:2014-11
微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第5部分：光学测量设备校正值的推导
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices
- 标准号
- DIN 32567-5 E:2014-11
- 发布
- 1970年
- 发布单位
- /
- 替代标准
- DIN 32567-5:2015
- 当前最新
- DIN 32567-5:2015-06
DIN 32567-5 E:2014-11相似标准
DIN 32567-3:2014 微型系统生产设备. 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定. 第3部分: 触觉测量设备校正值的推导
DIN 32567-3 E:2012-07 微型系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定 第3部分：触觉测量设备校正值的推导
DIN 32567-3:2014-10 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第3部分：触觉测量装置校正值的推导
DIN 32567-4:2015 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第4部分：光学程序试样
DIN 32567-4 E:2014-11 微系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸计量影响的测定 第4部分：光学程序试样