GB/T 36053-2018
X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

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标准号

GB/T 36053-2018

发布日期

2018年03月15日

实施日期

2019年02月01日

废止日期

无

中国标准分类号

G04

国际标准分类号

71.040.40

发布单位

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

GB/T 36053-2018系列标准