ISO/DIS 25178-604:2023
几何产品规范 (GPS) — 表面纹理：面积 — 第 604 部分：非接触式（相干扫描干涉测量）仪器的设计和特性

Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 604: Design and characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments

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标准号: ISO/DIS 25178-604:2023
发布: 2023年
发布单位: 国际标准化组织
当前最新: ISO/DIS 25178-604:2023

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