T/ICMTIA ESG0026-2022
集成电路用气体 氯化氢

Hydrogen chloride gas for integrated circuits

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/ICMTIA ESG0026-2022 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

标准号

T/ICMTIA ESG0026-2022

发布

2022年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/ICMTIA ESG0026-2022

 

 

适用范围

本文件规定了集成电路用氯化氢的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及安全。 本文件适用于集成电路制造过程中使用的氯化氢。

T/ICMTIA ESG0026-2022相似标准