ASTM E1217-11(2019)
用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践

Standard Practice for Determination of the Specimen Area Contributing to the Detected Signal in Auger Electron Spectrometers and Some X-Ray Photoelectron Spectrometers

标准号

ASTM E1217-11(2019)

发布

2019年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E1217-11(2019)

 

 

引用标准

ASTM E1016 ASTM E673

适用范围

1.1 本实践描述了在俄歇电子能谱仪和某些类型的 X 射线光电子能谱仪（能谱仪分析区域）中确定对检测信号有贡献的样品区域的方法，当该区域由电子收集透镜和电子能孔径系统定义时分析仪。该做法仅适用于那些由入射 X 射线束激发的样品区域大于分析仪观察到的样品区域的 X 射线光电子能谱仪，其中光电子在样品的无场区域中传播到分析仪入口。这里描述的一些方法需要安装辅助电子枪以在样品上产生可变能量的电子束（“电子枪方法”）。其他实验需要具有锋利边缘的样品，例如覆盖有均匀清洁层（例如金 (Au) 或银 (Ag)）并劈开以获得长边的晶圆（“锋利边缘方法”）。
1.2 建议将这种做法作为一种有用的方法，用于确定分析仪在不同的光谱仪操作条件下观察到的样品区域、验证样品和光束是否充分对准以及表征电子能量分析仪的成像特性。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.5 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

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