电子级硫酸 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
赛默飞色谱与质谱分析
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电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。...
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