ASTM F1527-00
硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南

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适用范围: 1.1 本指南涵盖了标准参考材料 (SRM) 在硅片电阻率测量中的应用。具体来说，本指南涵盖了如何使用这些 SRM 来制备电阻率参考晶圆以及确保用于制备它们的仪器的质量。
1.2 本指南尚未针对硅以外的电子材料的应用进行评估。
1.3 本指南涵盖了电阻率参考晶片材料的选择、准备和校准电阻率参考晶片的程序以及电阻率参考晶片在鉴定、校准和控制各种类型电阻率仪器中的使用。
1.4 本指南提供了用于确定硅电阻率参考材料电阻率的仪器的选择标准、在统计质量控制中维护此类仪器的程序以及对从事制造和使用电阻率参考晶片的操作人员的培训要求。
1.5 附录涵盖 (1) 针对尚未制定此类程序的组织建议的控制制图程序，以及 (2) 由于晶片直径、晶片厚度和探针尖端间距的不确定性而导致的电阻率测定误差。
1.6 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

ASTM F1527-00硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南