T/CHBAS 49-2023
电子工业用气体 一氟甲烷

Gas fluoromethane for electronic industry

T/CHBAS 49-2023 发布历史

T/CHBAS 49-2023由中国团体标准 CN-TUANTI 发布于 2023-12-22，并于 2023-12-30 实施。

T/CHBAS 49-2023在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

T/CHBAS 49-2023 电子工业用气体 一氟甲烷的最新版本是哪一版？

最新版本是 T/CHBAS 49-2023 。

T/CHBAS 49-2023的历代版本如下：

• 2023年 T/CHBAS 49-2023 电子工业用气体 一氟甲烷

本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

标准号

T/CHBAS 49-2023

发布

2023年

发布单位

中国团体标准

当前最新

T/CHBAS 49-2023

 

 

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