T/CHBAS 49-2023
电子工业用气体 一氟甲烷

Gas fluoromethane for electronic industry


 

 

非常抱歉，我们暂时无法提供预览，您可以试试： 免费下载 T/CHBAS 49-2023 前三页，或者稍后再访问。

您也可以尝试购买此标准，
点击右侧 “立即购买” 按钮开始采购（由第三方提供）。

 

标准号
T/CHBAS 49-2023
发布
2023年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CHBAS 49-2023
 
 
适用范围
本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规 则、标志、包装、运输和储存及安全等。 本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子 蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

T/CHBAS 49-2023相似标准

GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷 T/CHBAS 50-2023 电子工业用气体 二氟甲烷 GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫 GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷 GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷

推荐

华爱色谱参与起草的四项国家标准正式发布

　　根据《中华人民共和国国家标准公告》(2011年第2号)，由华爱色谱公司参与起草的《电子工业用气体硒化氢》、《电子工业用气体砷化氢》、《电子工业用气体三氯化硼》、《氟及氟氮混合气》等四项国家标准获得国家质检总局、国家标准委的正式批准和发布。...


Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证：京ICP证110310号