真空表面处理工艺用离子源 是非强制性国家标准,您可以免费下载预览页
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固定式Ar离子源,将提供一个使用静电聚焦而得到的直径从125μm到mm量级变化的离子束。由于不能进行扫描剥离,对样品表面刻蚀的均匀性较差,仅用作表面清洁。对于进行深度分析用的离子源,应采用扫描式Ar离子源,提供一个可变直径(直径从35μm到mm量级)、高束流密度和可扫描的离子束,用于精确的研究和应用。...
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