T/GVS 003-2021
真空表面处理工艺用离子源
Ion source for vacuum surface treatment process
- 标准号
- T/GVS 003-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/GVS 003-2021
- 适用范围
- 规定了真空表面处理工艺常用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。适用于在真空环境下用于表面处理工艺的常用离子源（以下简称离子源）。