GB/T 39163-2020
靶材与背板结合强度测试方法
Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
GBT39163-2020, GB39163-2020
- 标准号
- GB/T 39163-2020
- 别名
- GBT39163-2020, GB39163-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 39163-2020
- 适用范围
- 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。 本标准适用于微电子领域镀膜用划材与背板结合强度测试方法。 注: 靶材与背板结合方式包括钙焊(传统焊料、导电银胶、纳米稍焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩控焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
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