ASTM D7980-15(2023)
半导体工业中超纯水（UPW）抓斗样品中阴离子的离子色谱分析标准指南
Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry
- 标准号
- ASTM D7980-15(2023)
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM D7980-15(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D5127
- 1.1 本指南适用于被认为含有低 ppt（万亿分之一，重量/重量）水平阴离子污染物（例如溴化物、氯化物、氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐和硫酸盐）的超纯水。为了最大限度地减少分析之间的残留问题，最好将任何一种污染物的浓度限制在大约 200 ppt（尽管此限制只是一个近似值，并且可能会有所不同，具体取决于用户的应用）。 1.2 本指南旨在帮助分析人员避免超纯水...
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