ASTM D7980-15(2023)
半导体工业中超纯水（UPW）抓斗样品中阴离子的离子色谱分析标准指南
Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry
- 标准号
- ASTM D7980-15(2023)
- 发布
- 2023年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM D7980-15(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D5127
- 适用范围
- 1.1 本指南适用于被认为含有低 ppt（万亿分之一，重量/重量）水平阴离子污染物（例如溴化物、氯化物、氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐和硫酸盐）的超纯水。为了最大限度地减少分析之间的残留问题，最好将任何一种污染物的浓度限制在大约 200 ppt（尽管此限制只是一个近似值，并且可能会有所不同，具体取决于用户的应用）。
1.2 本指南旨在帮助分析人员避免超纯水样品的污染，因为污染控制是定量样品中 ppt 级阴离子时的主要挑战。
1.3 本指南不包括从水源采集样品的建议。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.5 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。
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