ASTM D7980-15
半导体工业用超纯水 (UPW) 随即样本中阴离子的离子色谱分析标准指南
Standard Guide for Ion-Chromatographic Analysis of Anions in Grab Samples of Ultrapure Water (UPW) in the Semiconductor Industry
- 标准号
- ASTM D7980-15
- 发布
- 2015年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 替代标准
- ASTM D7980-15(2023)
- 当前最新
- ASTM D7980-15(2023)
- 引用标准
- ASTM D1129 ASTM D5127
- 适用范围
- 1.1 本指南适用于被认为含有低 ppt（万亿分之一，重量/重量）水平的阴离子污染物（例如溴化物、氯化物、氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐和硫酸盐）。为了最大限度地减少分析之间的残留问题，最好将任何一种污染物的浓度限制在大约 200 ppt（尽管此限制只是一个近似值，并且可能会有所不同，具体取决于用户的应用）。
1.2 本指南旨在帮助分析人员避免超纯水样品的污染，因为污染控制是定量样品中 ppt 级阴离子时的主要挑战。
1.3 本指南不包括从水源采集样品的建议。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。