GB/T 38446-2020
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
GBT38446-2020, GB38446-2020
GB/T 38446-2020 发布历史
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm 到数微米之间且长度和厚度的比值大于300 的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
GB/T 38446-2020由国家质检总局 CN-GB 发布于 2020-03-06，并于 2020-10-01 00:00:00.0 实施。
GB/T 38446-2020 在中国标准分类中归属于: L55 微电路综合，在国际标准分类中归属于: 31.200 集成电路、微电子学。
GB/T 38446-2020 发布之时，引用了标准
- GB/T 26111 微机电系统（MEMS）技术 术语*， 2023-05-23 更新
* 在 GB/T 38446-2020 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
GB/T 38446-2020的历代版本如下：
- 2020年 GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
- 标准号
- GB/T 38446-2020
- 别名
- GBT38446-2020
GB38446-2020 - 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 38446-2020
- 引用标准
- GB/T 26111