微型化、集成化和智能化,是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统( MEMS )技术的发展,电子计算机已由当年的”庞然大物”演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统,甚至是一部微型的智能手机。...
部分:薄膜材料弯曲试验方法》等重要的微结构测试方法,满足了MEMS制造过程中对其微结构进行考核的需求。...
在国家重大科学仪器设备开发专项支持下,西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室研究团队近期研制出功能齐全、质量稳定可靠、测试结果准确直观的流体壁面剪应力测试仪。 团队成员邓进军副教授介绍,该测试仪充分利用微机电系统(MEMS)技术高度集成、灵敏度高、动态性好的独特优势,通过建立微加工工艺及测试规范,研发出柔性热敏薄膜微传感器和浮动式剪应力微传感器两类关键核心器件。...
多晶硅薄膜是MEMS(micro-electro-mechanical systems)器件中重要的结构材料,通常在单晶硅基底上由沉积方法形成。由于薄膜与基底不同的热膨胀系数、沉积温度、沉积方式、环境条件等众多因素的综合作用,多晶硅薄膜一般都存在大小不一的拉应力或者压应力。作为结构材料多晶硅薄膜的材料力学性能在很大程度上决定了MEMS器件的可靠性和稳定性。...
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