GB/T 42274-2022
氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
GBT42274-2022, GB42274-2022
- 标准号
- GB/T 42274-2022
- 别名
- GBT42274-2022, GB42274-2022
- 发布
- 2022年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 42274-2022
- 引用标准
- GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 25186 GB/T 32267
- 适用范围
- 本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3 ,元素含量(原子个数百分比)不大于1%。 注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计。
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国家标准氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法
掺Mg量较小时,GaN∶Mg单晶膜呈现N型导电,得不到P型层；掺Mg量过大时,会形成与Mg有关的深施主,由于深施主的补偿作用，得不到高空穴浓度的P型GaN。二次离子质谱法可以分析从氢到铀的所有元素及同位素，具有很高的灵敏度，是检测镁掺杂量的一个重要手段。为了促进国内相关技术的提升，并使我国二次离子质谱定量分析技术规范化、标准化，特制定《氮化镓材料中镁含量的测定二次离子质谱法》。...