新型宽禁带半导体材料SiC兼有高饱和电子漂移速度、高击穿电场、高热导率等特点,在高温、大功率、高频、光电子、抗辐射等领域具有广阔的应用前景。作为最重要的SiC器件,SiC场效应器件(主要指SiC金属—半导体场效应晶体管,MESFET和金属—氧化物—半导体场效应晶体管,MOSFET)以及基于MOS技术的SiC CMOS电路更是受到了广泛的关注。...
5、 800伏碳化硅逆变器技术 ——德尔福科技 该逆变器技术的核心是开发和应用了Viper电源开关。该开关高度集成了双面散热技术,并将原来的硅质绝缘栅双极晶体管(IGBT)电源开关更换为了碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)开关。与前几代逆变器相比,可以减少40%的重量,缩小30%的整体尺寸,提高25%的功率密度,同时可以减少最高70%的开关损耗。...
碳化硅(SiC)上的栅氧化膜会严重影响SiC金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的性能。本文作者通过电容 - 电压(C-V)测试研究了应力/应变引起的曲率对栅氧界面态密度(Dit)的影响。外延晶片的曲率通过薄膜应力测量系统进行测试。在干热氧化过程中,压缩/拉伸曲率导致SiO2的正Vfb偏移(负固定电荷),SiO2 / SiC的界面态密度增加。...
目前常用的碳化硅功率半导体器件主要包括:碳化sbd(schottkybarrierdiode,肖特基二极管)与碳化硅mosfet(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,金属氧化物半导体场效应管),其中碳化硅mosfet器件属于单级器件,开通关断速度较快,对栅极可靠性提出了更高的要求,而由于碳化硅材料的物理特性,导致栅级结构中的栅氧层缺陷数量较多...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号