ISO 21466:2019
微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
说明：
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- 标准号
- ISO 21466:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 21466:2019
- 本文件规定了具有相关参数、文件格式和拟合程序的结构模型，用于通过基于模型的库（MBL）使用临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）成像来表征晶圆和光掩模的临界尺寸（CD）值方法。 该方法适用于样品的线宽测定，例如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至 10 nm 的单个孤立或密集线特征图案。
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