ISO 21466:2019
微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
ISO 21466:2019 发布历史
ISO 21466:2019由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2019-12-13。
ISO 21466:2019在国际标准分类中归属于: 37.020 光学设备。
ISO 21466:2019的历代版本如下：
- 2019年 ISO 21466:2019 微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
本文件规定了具有相关参数、文件格式和拟合程序的结构模型，用于通过基于模型的库（MBL）使用临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）成像来表征晶圆和光掩模的临界尺寸（CD）值方法。 该方法适用于样品的线宽测定，例如晶圆上的栅极、光掩模、尺寸小至 10 nm 的单个孤立或密集线特征图案。
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