ISO 22415:2019
表面化学分析.二次离子质谱法.有机材料氩团簇溅射深度剖面测定屈服体积的方法
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials
- 标准号
- ISO 22415:2019
- 发布
- 2019年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 22415:2019
- 引用标准
- ISO 18115-1:2013
- 适用范围
- 本文件规定了测量和报告特定有机材料的氩簇溅射产量的方法。 该方法需要一个或多个指定材料的测试样品，作为平坦基板上已知厚度在 50 至 1000 纳米之间的均匀薄膜，该基板具有与指定材料不同的化学成分。 本文件适用于指定材料层深度成分均匀的测试样品，如果指定材料中化合物的深度分布不均匀则不适用。 本文件适用于溅射离子束使用光栅照射样品以确保分析区域上离子剂量恒定的仪器。
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