ASTM F534-97
硅片弯曲度的标准试验方法

Standard Test Method for Bow of Silicon Wafers

被代替

标准号

ASTM F534-97

发布

2002年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM F534-02

当前最新

ASTM F534-02a

 

 

1.1 本测试方法涵盖了在自由（非夹紧）条件下，抛光或未抛光的标称圆形硅片的平均弯曲量的测定。 1.2 本测试方法主要适用于符合 SEMI 规范 M1 尺寸和公差要求的晶圆。 1.3 本测试方法也适用于其他半导体材料（例如砷化镓）或电子基板材料（例如蓝宝石或钆镓石榴石）的圆形晶片，其直径为25毫米或更大，厚度为0.18毫米或更大，直径与厚度之比最大为 250...